代码
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MX8R金相显微镜
MX8R半导体/FPD检查显微镜
为用户提供高效的半导体/FPD光学检测解决方案
最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查，含4、6、8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升，为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。
产品特点
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MX8R金相显微镜
- 最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查，含4、6、8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升，为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。
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MX8R半导体/FPD检查显微镜
为用户提供高效的半导体/FPD光学检测解决方案
最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查，含4、6、8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升，为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。
产品特点
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光学系统 |
无限远色差校正光学系统 |
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观察方式 |
明场/暗场/偏光/DIC |
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无限远钗链三通观察头,5。・35°倾角可调，倒像，瞳距调节50-76mm,三档式分光比：50:50或100:0或0:100 |
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观察筒 |
无限远钗链三通观察筒，30°倾斜，正像，瞳距调节:50-76mm,分光比100:0或0:100 |
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无限远钗链三通观察头，30。倾斜，倒像，瞳距调节范围50-76mm,三档式分光比，0 ： 100或20 ： 8。或 100：0 |
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目鏡 |
高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调，可带单刻度十字分划板 |
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高眼点大视野平场目鏡PL10X/26.5mm,视度可调，可帯单刻度+字分划板 |
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无限远明暗场半复消金相DIC物镜5X10X 20X 50X100X |
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物鏡 |
无限远长工作距明暗场半复消金相DIC物鏡20X |
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无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X100X |
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无限远明场半复消金相DIC物鏡5X10X 20X50X100X |
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转换器 |
明暗场五孔/六孔转换器，带DIC插槽 |
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明场六孔/七孔转换器，带DIC插槽 |
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调焦机构 |
反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm,微调精度0.001mm.带有防止下滑的调节松 紧装置和随机上限位装置.内置100-240V宽电压系统，带光亮度设定按钮与复位按扭； |
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载物台 |
右手位8英寸三层机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节；平台面积525mmX330mm,移动范围： 210mmX210mm ；帯离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；反射配金属平台，透反配玻璃平台 |
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右手位6英寸三层机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节；平台面积445mmX240mm,移动范围： 158mmX158mm ；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；反射配金属平台，透反配玻璃平台 |
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照明系统 |
明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心均可调；带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏 光装置插槽 |
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摄影摄像 |
0.5X/0.65X/1X摄像接筒，C型接口，可调焦 |
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其他 |
起偏鏡插板，固定式检偏鏡插板，360漩转式检偏鏡插板；反射用干涉滤色片组；高精度测微尺；DIC微分 干涉组件 |
二维码
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