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发布时间:2022-08-22 09:48:14

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MX8R金相显微镜主图

MX8R金相显微镜

最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查,含4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。
MX8R金相显微镜主图
产品描述
参数
技术参数

MX8R半导体/FPD检查显微镜

为用户提供高效的半导体/FPD光学检测解决方案

最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查,含4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。

产品特点

 

 

 

 

 

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光学系统

无限远色差校正光学系统

观察方式

明场/暗场/偏光/DIC

 

无限远钗链三通观察头,5。・35°倾角可调,倒像,瞳距调节50-76mm,三档式分光比:50:50或100:0或0:100

观察筒

无限远钗链三通观察筒,30°倾斜,正像,瞳距调节:50-76mm,分光比100:0或0:100

 

无限远钗链三通观察头,30。倾斜,倒像,瞳距调节范围50-76mm,三档式分光比,0 : 100或20 : 8。或 100:0

目鏡

高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划板

高眼点大视野平场目鏡PL10X/26.5mm,视度可调,可帯单刻度+字分划板

 

无限远明暗场半复消金相DIC物镜5X10X 20X 50X100X

物鏡

无限远长工作距明暗场半复消金相DIC物鏡20X

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X100X

 

无限远明场半复消金相DIC物鏡5X10X 20X50X100X

转换器

明暗场五孔/六孔转换器,带DIC插槽

明场六孔/七孔转换器,带DIC插槽

调焦机构

反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm,微调精度0.001mm.带有防止下滑的调节松 紧装置和随机上限位装置.内置100-240V宽电压系统,带光亮度设定按钮与复位按扭;

载物台

右手位8英寸三层机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节;平台面积525mmX330mm,移动范围: 210mmX210mm ;帯离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动;反射配金属平台,透反配玻璃平台

右手位6英寸三层机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节;平台面积445mmX240mm,移动范围: 158mmX158mm ;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动;反射配金属平台,透反配玻璃平台

照明系统

明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏 光装置插槽

摄影摄像

0.5X/0.65X/1X摄像接筒,C型接口,可调焦

其他

起偏鏡插板,固定式检偏鏡插板,360漩转式检偏鏡插板;反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC微分 干涉组件

MX8R金相显微镜主图
  • MX8R金相显微镜

  • 最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查,含4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。
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产品描述
技术参数
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MX8R半导体/FPD检查显微镜

为用户提供高效的半导体/FPD光学检测解决方案

最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查,含4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。

产品特点

 

 

 

 

 

光学系统

无限远色差校正光学系统

观察方式

明场/暗场/偏光/DIC

 

无限远钗链三通观察头,5。・35°倾角可调,倒像,瞳距调节50-76mm,三档式分光比:50:50或100:0或0:100

观察筒

无限远钗链三通观察筒,30°倾斜,正像,瞳距调节:50-76mm,分光比100:0或0:100

 

无限远钗链三通观察头,30。倾斜,倒像,瞳距调节范围50-76mm,三档式分光比,0 : 100或20 : 8。或 100:0

目鏡

高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划板

高眼点大视野平场目鏡PL10X/26.5mm,视度可调,可帯单刻度+字分划板

 

无限远明暗场半复消金相DIC物镜5X10X 20X 50X100X

物鏡

无限远长工作距明暗场半复消金相DIC物鏡20X

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X100X

 

无限远明场半复消金相DIC物鏡5X10X 20X50X100X

转换器

明暗场五孔/六孔转换器,带DIC插槽

明场六孔/七孔转换器,带DIC插槽

调焦机构

反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm,微调精度0.001mm.带有防止下滑的调节松 紧装置和随机上限位装置.内置100-240V宽电压系统,带光亮度设定按钮与复位按扭;

载物台

右手位8英寸三层机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节;平台面积525mmX330mm,移动范围: 210mmX210mm ;帯离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动;反射配金属平台,透反配玻璃平台

右手位6英寸三层机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节;平台面积445mmX240mm,移动范围: 158mmX158mm ;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动;反射配金属平台,透反配玻璃平台

照明系统

明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏 光装置插槽

摄影摄像

0.5X/0.65X/1X摄像接筒,C型接口,可调焦

其他

起偏鏡插板,固定式检偏鏡插板,360漩转式检偏鏡插板;反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC微分 干涉组件

联系方式

杭州市萧山区商城南路100号

富地商瑞大厦1-611室

 

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